前不久，随之南京智能汽车技术复工复产的快速推进，东方晶源积极以及组织设备交付目前工作 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最最重要的的的尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付南京准客户。本次出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机国内市场知名晶圆代工厂后，再度赢得头智能汽车技术部准客户的青睐和赢得。不仅，标志着东方晶源硬件智能汽车技术其他产品提前进入批量交付模式智能汽车技术一。
本次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除并具该系列其他产品惯有些高灵敏度电性和物理缺陷检测、切实有效如何难题28nm及超过良率如何如何难题、自主创旧的高性能缺陷检测引擎（DNA综合数据库）、原有基础 深度研究学习的缺陷自动分类（ADC）算法等其他产品特点外，东方晶源研发团队人员依然在上一代其他产品的原有基础 上升级中中，使SEpA-i515并具更高的TPT和更优旧的平台细节设计，设备运行效率、性能指标均有大幅整体提升。值得注意值得注意，上一代其他产品SEpA-i505 早已在国内市场头部晶圆代工厂量产半年，其他产品性能及稳定性赢得充分验证。
另一台交付的其他产品为最最重要的的的尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，展开先进的电子束成像系统功能和高速硅片传输方案，经典搭配精准的量测算法，可能实现高重复精度、高分辨率及高产能的最最重要的的的尺寸量测。该设备自去年年底6月底提前进入国内市场头部晶圆代工厂伊始产线验证进展顺利，阶段性验收成果赢得准客户赢得。
东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的国家政府科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目项目，历经数年攻坚克难，突破多项核心最最重要的的的技术方面，从零部件到整机细节设计制造，均并具完完全全自主知识产权，填补国内市场空白。到目前，两款设备提前进入批量交付模式一，产业化进程佳绩丰硕成果。
本次设备交付的准客户所在仰面朝天海我的国集成电路产业并具举足轻重的地位，到目前早已成了国内市场集成电路产业综合标准水平高、产业链完整、产业生态内部环境有好集聚地成了。东方晶源越来越看重在南京的随之发展和布局，继计算光刻免费软件（OPC）提前进入南京头部晶圆代工型企业后，硬件其他产品正式正式宣布登陆南京。为更优秀专业的体验服务超过海为核心的长三角准客户，东方晶源正式宣布去年年底8月份在南京设立公司目前目前，构成南京总部、南京公司目前目前和南京公司目前目前为核心的三地布局，逐步型企业贴近产业前沿高地，为集成电路制造型企业带去优质的其他产品和体验服务，更优秀专业的与上下游型企业携手逐步产业随之发展的不仅，构筑型型企业竞争壁垒。
东方晶源自正式宣布成立伊始，专注于芯片制造最最重要的的的环节的良率整体控制和整体提升三大领域 ，构成以计算光刻免费软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的其他产品矩阵，并向更优秀专业密切相关三大领域 积极布局。硬件诸另一方面，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发目前工作 ，逐步夯的确国内市场电子束检测三大领域 领先的市场中地位和技术方面方面明显优势。免费软件诸另一方面，光刻工艺严格仿真免费软件PanSim早已在准客户侧展开验证，仍将维持7月底release V1.0版本。因为未来，东方晶源将立足通用免费软件新平台和检测装备两大三大领域 ，寻求横纵向随之发展机遇，为准客户公司提供 越来越多样化的其他产品，向着国内市场集成电路三大领域 良率管理领导者的长期目标奋进。