7月9日智能汽车概念股，由欧美国家 发展方面 集成电路创新东部联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新发展方面 交流会”以六大会场加图片来源来源连线的多种渠道同步盛大举行智能汽车概念股。来自东方集成电路全产业链各环节的优秀制造企业、高校和科研院所的千余位作为参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海老先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业智能汽车概念股相关技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），交出 相关技术创新奖。
“IC创新奖”由欧美国家 发展方面 集成电路创新东部联盟主办，面向智能汽车概念股在欧美国家 集成电路产业链上下游企事业企业单位征集，重点鼓励集成电路相关技术创新、成果产业化、产业链上下游合作中，是集成电路产业关键点点的相关技术奖项他成 ，同时相关技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大相关技术创新和关键点相关技术开发诸多方面成绩重大突破的企业单位和其他团队。首次摘得行业多重磅赛事的关键点奖项，仍在彰显出东方晶源在电子束检测、量测三大领域 的相关技术真实实力和行业多的髙度 认可。
检测是芯片制造厂商降低良率的关键点多种方式。电子束检测设备较强超高精度，在高端芯片制造经历过程发挥的促进作用更加 大。截至目前，该类设备被在欧美国家 厂商垄断，他成 制约欧美国家 芯片制造自主可控的关键点瓶颈。东方晶源数年磨剑，一次成功研响起在欧美国家 首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可人员人员提供的纳米级缺陷检测和深入分析 问题方案。截至截至目前实施欧美国家 头部芯片制造厂商产线验证，验证最后结果结果表明其次指标与在欧美国家 一线对标机台至少同等水平提升，一次成功问题欧美国家 在电子束检测三大领域 的关键点相关技术问题。
东方晶源在电子束检测、量测三大领域 已深耕多年并一次成功即将推出多款设备，成绩重大突破。除首次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸关键点尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于上半年6月进人产线验证，截至目前提前完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异可以消费需求没有要求，性能仍在改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于上半年3月进人产线验证，截至目前最后结果结果 进人最终客户产线小规模试产。同时，东方晶源还于近两天近期发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），截至目前该设备工程机（Alpha机）最后结果结果 实施首轮wafer demo，还能可以消费需求28nm及以之上制程可以消费需求，Beta机集成工作时加速推进中，已成绩最终客户订单，进人产线验证指日可待。
他成 这家聚焦集成电路良率管理三大领域 ，以降低芯片制造门槛为使命的半导体制造企业，东方晶源始终以研发创新为发展方面 核心，一直在丰富产品会矩阵并降低产品会性能，填补多项在欧美国家 空白。将来，东方晶源将仍在立足一体化免费软件其它平台和检测装备两大三大领域 ，以最终客户为两个中心，以目前市场为导向，一直在实施相关技术突破与产品会创新，与欧美国家 集成电路产业上下游制造企业勠力同心，推动欧美国家 集成电路制造产业仍在高速发展方面 。